Ultraviolet laser damage properties of single-layer SiO2 film grown by atomic layer deposition

Feng Geng, Haipeng Cheng, Qinghua Zhang, Mincai Liu, Yaguo Li

科研成果: 期刊稿件 › 文章 › 同行评审

11 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Ultraviolet laser damage properties of single-layer SiO2 film grown by atomic layer deposition' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

Engineering

Material Science