Thermodynamic study of the chemical vapor deposition in the SiCl3CH3-NH3-H2 system

Haitao Ren, Litong Zhang, Kehe Su, Qingfeng Zeng, Kang Guan, Laifei Cheng

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指纹

探究 'Thermodynamic study of the chemical vapor deposition in the SiCl3CH3-NH3-H2 system' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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