Thermodynamic calculation for the chemical vapor deposition of silicon carbonitride

Jimei Xue, Xiaowei Yin, Xiaofei Liu, Litong Zhang

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12 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Thermodynamic calculation for the chemical vapor deposition of silicon carbonitride' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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