Thermodynamic analysis of chemical vapor deposition of BCl3-NH3-SiCl4-H2-Ar system

Zan Li, Laifei Cheng, Yongsheng Liu, Fang Ye

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4 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Thermodynamic analysis of chemical vapor deposition of BCl3-NH3-SiCl4-H2-Ar system' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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