Properties of TiN/TiCN multilayer films by direct current magnetron sputtering

Jianyun Zheng, Junying Hao, Xiaoqiang Liu, Weimin Liu

科研成果: 期刊稿件 › 文章 › 同行评审

33 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Properties of TiN/TiCN multilayer films by direct current magnetron sputtering' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

Material Science