New MOCVD precursor for iridium thin films deposition

Xin Yan, Qiuyu Zhang, Xiaodong Fan

科研成果: 期刊稿件文章同行评审

21 引用 (Scopus)

指纹

探究 'New MOCVD precursor for iridium thin films deposition' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

Material Science

Chemical Engineering