Microfabricated SOI pressure sensor using dynamically balanced lateral resonator

Sen Ren, Weizheng Yuan, Xiaodong Sun, Jinjun Deng, Dayong Qiao, Chengyu Jiang

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2 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Microfabricated SOI pressure sensor using dynamically balanced lateral resonator' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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