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科研成果
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Micro-machinability of monocrystal silicon by direct etching using excimer laser
Weizheng Yuan
,
Binghe Ma
机电学院
微电子学院
科研成果
:
期刊稿件
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文章
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同行评审
7
引用 （Scopus）
综述
指纹
指纹
探究 'Micro-machinability of monocrystal silicon by direct etching using excimer laser' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Engineering
Engineering Application
33%
Excimer Laser
100%
Heat Affected Zone
33%
Impact Damage
33%
Laser Beam
33%
Laser Energy
33%
Laser Materials Processing
33%
Mechanical Structure
33%
Monocrystal
100%
Multiphoton Lithography
33%
Silicon Wafer
33%
Physics
Heat Affected Zone
33%
Impact Damage
33%
Laser Material Processing
33%