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西北工业大学 国内
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简介
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科研成果
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MEMS CAD key technology in top-down design flow
Yun Teng,
Weizheng Yuan
,
Honglong Chang
, Jinghui Xu
机电学院
Northwestern Polytechnical University Xian
科研成果
:
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同行评审
综述
指纹
指纹
探究 'MEMS CAD key technology in top-down design flow' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Engineering
Computer Aided Design
100%
Design Flow
100%
Geometric Parameter
50%
Layer Information
50%
Microelectromechanical System
100%
Resonator
50%
System Behavior
50%
Material Science
Microelectromechanical System
100%
Resonator
50%
Chemistry
Accelerator Mass Spectrometry
50%