Growth properties and optical properties for HfO2 thin films deposited by atomic layer deposition

Yaowei Wei, Qiao Xu, Zhen Wang, Zhichao Liu, Feng Pan, Qinghua Zhang, Jian Wang

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指纹

探究 'Growth properties and optical properties for HfO2 thin films deposited by atomic layer deposition' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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