Fabrication and characterization of MEMS piezoelectric synthetic jet actuators with bulk-micromachined PZT thick film

Shushan Wang, Binghe Ma, Jinjun Deng, Hongdong Qu, Jian Luo

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15 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Fabrication and characterization of MEMS piezoelectric synthetic jet actuators with bulk-micromachined PZT thick film' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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