Design and fabrication of MEMS gyroscopes on the silicon-on-insulator substrate with decoupled oscillation modes

Jianbing Xie, Weizheng Yuan, Honglong Chang

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指纹

探究 'Design and fabrication of MEMS gyroscopes on the silicon-on-insulator substrate with decoupled oscillation modes' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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