Composition, microstructure, and thermal stability of silicon carbide chemical vapor deposited at low temperatures

Yongdong Xu, Laifei Cheng, Litong Zhang

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15 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Composition, microstructure, and thermal stability of silicon carbide chemical vapor deposited at low temperatures' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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