Analysis of lateral stability of electrostatic comb-drive structure

Feng Zhang, Weizheng Yuan, Honglong Chang, Jiliang Ding, Jianbing Xie

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4 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Analysis of lateral stability of electrostatic comb-drive structure' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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