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西北工业大学 国内
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简介
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科研成果
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A two-beam method for extending the working range of electrostatic parallel-plate micro-actuators
Da Yong Qiao,
Wei Zheng Yuan
, Xiao Ying Li
机电学院
Northwestern Polytechnical University Xian
科研成果
:
期刊稿件
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文章
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同行评审
31
引用 (Scopus)
综述
指纹
指纹
探究 'A two-beam method for extending the working range of electrostatic parallel-plate micro-actuators' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Engineering
Actuator
100%
Parallel Plate
100%
Parallel-Plate Actuator
100%
Actuation
25%
Micro-Electro-Mechanical System
25%
Polysilicon
25%
Beam Structure
25%
Critical Point
25%
Surface Process
25%
Low Power Consumption
25%
Spring Constant
25%
Electrostatic Actuation
25%