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简介
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科研成果
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A Review on MEMS Silicon Resonant Accelerometers
Zhao Zhang,
Hemin Zhang
, Yongcun Hao,
Honglong Chang
机电学院
Northwestern Polytechnical University Xian
科研成果
:
期刊稿件
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文章
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同行评审
16
引用 (Scopus)
综述
指纹
指纹
探究 'A Review on MEMS Silicon Resonant Accelerometers' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Engineering
Microelectromechanical System
100%
Resonator
100%
Review Paper
100%
Applicability
50%
Scale Factor
50%
Sensing Method
50%
Frequency Shift
50%
Synchronization Phenomenon
50%
Reduced Temperature
50%
Material Science
Silicon
100%
Microelectromechanical System
100%
Accelerometer
100%
Resonator
28%
Physics
Resonator
100%
Microelectromechanical System
100%
Synchronism
50%
Frequency Shift
50%