A novel packaging stress isolation structure for SOI based MEMS gyroscopes

Yongcun Hao, Weizheng Yuan, Jianbing Xie, Honglong Chang

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5 引用 （Scopus）

指纹

探究 'A novel packaging stress isolation structure for SOI based MEMS gyroscopes' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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