A dicing-free SOI process for MEMS devices based on the lag effect

J. Xie, Y. Hao, Q. Shen, H. Chang, W. Yuan

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13 引用 （Scopus）

指纹

探究 'A dicing-free SOI process for MEMS devices based on the lag effect' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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